R&D Project

高纯度 工业用水 EPC-O&M 国产化 技术开发 2021

国内半导体用超纯水生产工程设备大多数是日本供应的设备,在超纯水生产工程内、 紫外线氧化工程中引进的设备中,日本及美国的产品占大多数。

在环境部的支援下,EcoSet株式会社作为总管研究机构,与高丽大学和其他合作企业一起执行的"以AIoT为基础的ASTMD5127 E-1.3 级高纯度工业用水紫外线氧化装置开发"项目,以国产化此前对海外依赖度高的高纯度工业用水紫外线氧化设备和设计技术为目的, 于21年4月开始着手开发事业。

随着半导体的高精度和高度集约化，对高品质工业用水供给的需求日益增加。

高纯度工业用紫外线氧化设备

高纯度工业用水紫外线氧化设备的原理是，为了降低超纯水（高纯度工业用水）生产过程中的TOC（总OrganicCarbon）浓度， 对超纯水具有强能量的VUV波长紫外线照射，利用光解水分子产生的羟基自由基（OH Radical），氧化超纯水中的有机碳，将其转化为碳酸酯或双碳酸酯去除。

株式会社EcoSet计划,通过本研究开发事业,不是单纯地以与外产设备同等的水平国产化水平,而是为了解决现有工业用紫外线氧化设备的问题,即因VUV的过度照射而产生的过氧化氢的生成及DO的增加问题,在紫外线氧化设备上结合AIoT(Artificial Intelligence of Things),完成自我诊断型控制系统。

通过这一措施,摆脱高纯度工业用水生产设备的高海外依赖度,通过进口替代效果和国家技术竞争力强化、 确保与海外主要竞争公司相比具有优势的技术力,计划进军相关领域的全球市场。