R&D Project

高纯工业水EPC-O&M国产化技术开发2021

国内半导体用超纯水生产工艺设备大部分来自日本，超纯水生产工艺中的紫外线氧化工序所用设备也大部分是日本和美国产品。

환경부의 지원으로 주식회사 에코셋이 총괄주관연구기관으로, 고려대학교와 그외 협력 업체들과 함께 수행하는 “AIoT 기반 ASTM D5127 E-1.3급 고순도 공업용수용 자외선 산화장치 개발”사업은 그동안 해외 의존도가 높은 고순도 공업용수의 자외선 산화설비와 설계 기술을 국산화하기 위한 목적으로 21년 4월에 개발 사업을 착수하였다.

随着半导体变得更加精密和高度集成，对高质量工业供水的需求日益增加。

高纯工业水紫外线氧化设备

高纯工业水紫外线氧化设备是用具有强能量的VUV波长的紫外线照射超纯水，使水分子发生光分解，降低超纯水（高纯工业水）生产过程中的TOC（总有机碳）浓度，产生羟基自由基，其原理是利用（OH自由基）氧化超纯水中的有机碳，并将其转化为碳酸盐或碳酸氢盐进行去除。

通过本次研发项目，Ecoset公司并非简单地国产与国外设备同等水平的设备，而是解决了VUV过度照射导致的过氧化氢生成和DO增加的问题，针对现有工业用水紫外线氧化设备存在的问题，我们计划将AIoT（人工智能物联网）应用于紫外线氧化设备，完成自诊断控制系统。

借此，我们计划进军该领域的全球市场，消除高纯工业水生产设备对国外的高度依赖，增强国家技术竞争力并实现进口替代效应，确保比国外主要企业更先进的技术能力。竞争对手。