半导体超纯水低分子物质控制原型系统开发及替代水源应用研究

目标

  • 开发一种用于尿素去除的氧化系统，实现FUV均匀照射并最小化光源损失，从而使替代水源可作为超纯水生产的原水使用

研究内容

1.为实现无氧环境的 FUV 真空腔体开发
2.为实现 FUV 均匀照射的直接/间接照射技术开发
3.开发光纤 FUV 照射技术
4.开发了应用 FUV 的 SEOF 反应器试产品

为实现无氧环境的
FUV 真空腔体开发


- 开发用于 FUV 光源的氧化反应器
- 开发 FUV 氧化能力对比试验装置
- 开发真空用灯座与石英管座
- 开发真空密封结构及充氮腔体

为实现 FUV 均匀照射的直接/
间接照射技术开发



- 开发多种 FUV 照射方式
- 开发 FUV 均匀照射结构
- 为适合性评估开展试验与评价

开发了应用 FUV 的
SEOF 反 应器试产品

- 开发适用于光纤的 FUV 均匀照射方式
- 开发适用于光纤的 FUV 均匀照射结构
- 开发实现最佳性能的灯管及管道布置优化