半导体

高纯度工业用水的紫外线氧化设备用于在超纯水（高纯度工业用水）生产过程中降低TOC（总有机碳）浓度。该设备通过对超纯水进行高能量VUV（真空紫外线）波长的紫外线照射，光解水分子，产生羟基自由基（OH Radical），利用这些自由基将水中的有机碳氧化转化为碳酸盐或重碳酸盐，从而进行去除。