R&D Project

고순도 공업용수 EPC-O&M 국산화 기술개발 2021

국내 반도체용 초순수 생산공정 설비의 대다수는 일본에서 공급한 설비들이며, 초순수 생산공정 내, 자외선 산화공정에 도입되는 설비들 역시, 일본 및 미국 제품들이 대다수이다.

환경부의 지원으로 주식회사 에코셋이 총괄주관연구기관으로, 고려대학교와 그외 협력 업체들과 함께 수행하는 “AIoT 기반 ASTM D5127 E-1.3급 고순도 공업용수용 자외선 산화장치 개발”사업은 그동안 해외 의존도가 높은 고순도 공업용수의 자외선 산화설비와 설계 기술을 국산화하기 위한 목적으로 21년 4월에 개발 사업을 착수하였다.

반도체의 고정밀화와 고집적화에 따라 고품질의 공업용수 공급에 대한 수요는 날로 증가하고 있다.

고순도 공업용수용 자외선 산화설비

고순도 공업용수용 자외선 산화설비는 초순수(고순도 공업용수) 생산 공정에서 TOC(Total Organic Carbon) 농도를 저감시키기 위해 초순수에 강한 에너지를 가진 VUV파장의 자외선을 조사하여 물분자를 광분해함으로서 생성되는 하이드록실라디칼(OH Radical)을 이용하여 초순수내의 유기탄소를 산화하여 카보네이트나 바이카보네이트로 전환시켜 제거하는 원리다.

주식회사 에코셋은 본 연구개발사업을 통해 외산설비와 동등한 수준으로 단순히 국산화하는 수준이 아닌, 기존 공업용수용 자외선 산화설비의 문제점인, VUV의 과도한 조사로 인해 발생하는 과산화수소의 생성 및 DO의 증가 문제를 해소시키기 위해 자외선 산화설비에 AIoT(Artificial Intelligence of Things)를 접목하여 자가진단형 제어시스템을 완성할 계획이다.

이를 통해, 고순도 공업용수 생산설비의 높은 해외의존도 탈피로 수입대체효과와 국가 기술경쟁력 강화, 해외 주요 경쟁사 대비 우위의 기술력 확보를 통해 해당 분야의 글로벌 시장진출을 계획하고 있다.