반도체

반도체의 고정밀화와 고집적화에 따라 고품질의 공업용수 공급에 대한 수요는 날로 증가하고 있으며 고품질 공업용수로 사용되는 초순수를 만들기 위하여 자외선 설비는 필수 입니다.
고순도 공업용수용 자외선 산화설비는 초순수(고순도 공업용수) 생산 공정에서 TOC(Total Organic Carbon) 농도를 저감시키기 위해 초순수에 강한 에너지를 가진 VUV파장의 자외선을 조사하여 물분자를 광분해함으로서 생성되는 하이드록실라디칼(OH Radical)을 이용하여 초순수내의 유기탄소를 산화하여 카보네이트나 바이카보네이트로 전환시켜 제거하는 원리입니다.